Vöruyfirlit
Hreint títan sputtering skotmörk eru framleidd úr lofttæmi-bræddum títanhleifum (Gráða 1, Grade 2, og hár-hreinleika 3N5 til 5N) með strangri hita-vélrænni vinnslu, þar með talið fjöl-stefnumótun, nákvæmnisvalsingu og stýrðri glæðingu. Þessi skotmörk eru hönnuð fyrir segulsviðssputtering og HIPIMS kerfi og skila stöðugum útfellingarhraða, bæla hnúðamyndun og litla agnamyndun í samfelldum þunnri{{10}filmuframleiðslulínum.
Tæknilýsing
Hreinleikaeinkunnir:ASTM gráðu 1 (TA1), ASTM gráðu 2 (TA2), hár hreinleiki (99,95% til 99,999%)
Þéttleiki:>= 4.51 g/cm3 (Measured via Archimedes method, achieving >99,5% fræðilegur þéttleiki)
Kornastærð:Meðalkornstærð < 100 um með samræmdri, jafnáxla örbyggingu yfir alla rofbrautina (prófað samkvæmt ASTM E112)
Millivefsóhreinindi (venjulegt):
- Súrefni (O): < 0,08% (1. stig) / < 0.002% (mikill hreinleiki)
- Járn (Fe), kolefni (C), köfnunarefni (N), vetni (H) stjórnað innan strangra ASTM/SEMI marka
Mál og rúmfræði:
- Slétt: Lengd allt að 3000 mm, þykkt 3 mm - 20 mm
- Snúanlegt: Ytra þvermál allt að 180 mm, lengdir allt að 3500 mm
- Bakplötur: Súrefnis-laus kopar (OFC), ál eða títan
- Yfirborðsáferð: Ra < 0,8 um, sýru-hreinsuð, þurrkuð og lofttæmd-þétt
Helstu eiginleikar
Jafnaxað fínn-Kornuð örbygging:Stýrð fjöl-hei/kaldvalsing og endurkristöllunarglæðing útiloka gróf kornasvæði, koma í veg fyrir staðbundna ofhitnun og óreglulega veðrun.
Lágt millivefsgasinnihald:Unnið með Vacuum Induction Melting (VIM) eða Vacuum Arc Remelting (VAR) til að lágmarka leifar af gasþáttum og bæla í raun ör-boga- og filmuálag.
Hár hitastöðugleiki:Viðheldur skipulagsheildleika við háan-aflþéttleika meðan á púlsdrifnu DC eða High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS) stendur.
Áreiðanlegt hitaviðmót:Hlutfall tengingarleysis haldið undir 1% á öllu viðmótssvæðinu, staðfest með úthljóðsprófum sem ekki-eyðileggjandi.
Umsóknir
Hálfleiðari og öreindatækni:Hindrunarlög, límlög og frælög fyrir samþættar rafrásir, rafmagnstæki og MEMS.
Optísk húðun:Anti-endurskinshúð (AR) húðun, sjóntruflanasíur og gagnsæ leiðandi oxíð (TCO) hjálparlög.
Flatskjár og skjátækni:Þunn-filmu smári fljótandi kristalskjáir (TFT-LCD) og OLED rafskautsmálmgerð.
Skraut- og slitþolið-PVD:Harður, endingargóður hagnýtur frágangur á byggingargleri, bílainnréttingum og vélbúnaði.
Sérsnið og framleiðsla
Í-vinnslukeðju heima:Fullkomin framleiðslustýring frá niðurbroti á hráu hráefni, lofttæmisbræðslu og hitamótun til CNC vinnslu og tengilína.
Geómetrísk sníðagerð:Vinna sérsniðin snið, skábrúnir, sérstakar kælirásir og flóknar uppsetningarstillingar byggðar á sérstökum PVD hólfsteikningum.
Tengingartækni:Indíumbinding, elastómerbinding og dreifingartenging sniðin að því að passa við miða-við-varmaþenslustuðla bakplötu.
Sveigjanleiki afkastagetu:Hópframleiðsla sem er skipulögð til að takast á við staka R&D frumgerð í allt að margra-tonna samfelldum framleiðsluherferðum.
Gæðaeftirlit og vottanir
Rekjanlegt efnislotaeftirlit:Hægt er að rekja hvert skotmark aftur til upprunalegrar tómarúms-bræddu hleifahlutans, ásamt bræðsluloggum og varmavinnsluskrám.
Greiningarprófunarstaðlar:
Málmóhreinindi greind með ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) samkvæmt ASTM stöðlum.
Gasóhreinindi (O, N, H, C) staðfest með LECO óvirku gassamrunagreiningartæki.
Ó-eyðandi og víddarskoðun:Ultrasonic C-skannaprófun fyrir tengingarheilleika; Coordinate Measuring Machines (CMM) fyrir stranga sannprófun á víddar- og flatneskjuþoli.
Fylgni og skjöl:Framleitt samkvæmt ISO 9001 vottuðu gæðastjórnunarkerfi. Hver sending inniheldur lotu-sérstakt greiningarvottorð (CoA) og NDT prófunarskýrslu.
Pökkun og afhending
Hreinherbergi umbúðir:Hreinsað í stýrðu umhverfi, lofttæmi, -innsiglað í þungum-vandalausum pólýetýlenpokum með óvirku argon gasfyllingu og lagskipt með höggdeyfandi-froðu.
Flutningavernd:Pakkað inni í fumigation-ókeypis útflutningsgrindur úr viði með högg- og hallaeftirlitsvísum sé þess óskað.
Leiðslutími:2 vikur fyrir staðlaðar vörulistastærðir; 3 til 4 vikur fyrir sérsniðnar-vélaðar eða tengdar samsetningar.
Algengar spurningar
Sp.: Hvaða sérstakur staðall er notaður til að mæla og eftirlit með kornastærð?
A: Kornastærð er metin og sannprófuð í samræmi við ASTM E112 staðla, viðheldur meðalkornstærð undir 100 um til að tryggja samræmda sputtering hraða.
Sp.: Hvernig er miðun-á-gæði bakplötubindingar staðfest fyrir sendingu?
Svar: Sérhver tengd samsetning fer í gegnum ultrasonic C-skönnun sem ekki-eyðileggjandi prófun til að tryggja að tómahlutfall viðmóts sé stranglega haldið undir 1%, sem kemur í veg fyrir staðbundna ofhitnun meðan á mikilli-afli stendur.
Sp.: Er hægt að rekja skýrslur um óhreinindapróf til tiltekinna bræðsluhluta?
A: Já. Hver sending inniheldur lotu-sérstakt greiningarvottorð (CoA) sem veitir raunveruleg ICP-MS og LECO gasgreiningargögn sem hægt er að rekja beint til móðurtæmisins-bræddu hleifahlutanum.
Sp.: Hvaða ráðstafanir eru gerðar til að draga úr agnamyndun og spýti?
A: Tómarúmbráðnun lágmarkar rokgjarnar snefileiningar, á meðan bjartsýni varma-vélræn veltingaáætlanir útiloka ör-gljúp, dregur beint úr hnúðamyndun og agnalosun meðan á húðun stendur.
Sp.: Getur þú framleitt skotmörk sem passa við ó-staðlaða eða eldri PVD-hönnun?
A: Já. Markmiðin geta verið nákvæm-vinnuð út frá CAD teikningum eða forskriftum viðskiptavina, með einstökum kælirásum, festingargötum og kantsniðum.
Sp.: Hver er staðlað umbúðasamskiptareglur fyrir há-hreinleika hálfleiðaramarkmiða?
Svar: Markmiðin eru hreinsuð, lofttæmdu-innsigluð í -pólýetýlenpokum í hreinherbergi með argongasi og vernduð með sérsniðinni höggdeyfandi-froðu í styrktu útflutnings-viðarhylki.
Óska eftir tilboði
Gefðu upp hreinleikaeinkunn þína (99,9% - 99.999%), mál, magn, forskriftir fyrir bakplötu og líkan til að fá tæknilega tillögu og viðskiptatilboð innan 24 klukkustunda.
maq per Qat: hrein títan sputtering markmið, Kína hrein títan sputtering markmið framleiðendur, birgja, verksmiðju