8613809172622
info@zctitanium.com
tlhTungumál
Leita

Títan sputtering skotmörk

Saga / Vörur / Títan sputtering skotmörk
Vöruyfirlit

 

Títan sputtering Targets eru há- neysluefni sem notuð eru í Physical Vapor Deposition (PVD) kerfi til að setja þunnt títan eða títan-samsett filmur á undirlag. Markmiðin okkar eru hönnuð fyrir samræmdan sputterhraða og lágmarks gallamyndun og styðja við há-aflstraumsegulsviðssputting (HIPIMS) og DC/RF segulómauppsetningar þvert á hálfleiðara, sjón- og skrautlínur.

 
 
Tæknilýsing

 

Parameter

Forskriftarsvið

Efnishreinleiki

99,9% (3N) til 99,999% (5N)

Staðlaðar einkunnir

ASTM B348 bekk 1 / bekk 2 (CP Ti), títan málmblöndur (td TiAl, TiSi)

Þéttleiki

>= 4.51 g/cm3 (>99,5% fræðilegur þéttleiki, mældur með meginreglu Arkimedesar)

Meðalkornstærð

< 100 um (fine, equiaxed microstructure)

Mál (Planar)

Lengd allt að 3000 mm, breidd allt að 800 mm, þykkt 3-25 mm

Mál (snúanlegt)

Ytra þvermál allt að 400 mm, lengd allt að 4000 mm

Bakplata

OFHC kopar (C10200 / C11000) eða ál (6061)

Tengingartækni

Indíumbinding, teygjanleg tenging eða dreifingartenging (tómhlutfall < 1%)

 

Helstu eiginleikar

Fín örbygging

Stýrð varma-vélræn vinnsla gefur meðalkornstærð undir 100 um, sem tryggir samræmda veðrunarsnið og kemur í veg fyrir ívilnandi sputtering.

Gashreinleikastýring

Tómarúmsbráðnun (VIM) og rafeindageislabræðsla (EBM) ferli halda óhreinindum í millivefsgasi (O, N, H, C) í algjöru lágmarki.

Hávarmaleiðnibinding

Dreifing eða indíumbinding við OFHC kopar bakplötur kemur í veg fyrir skekkju og ótímabæra sprungu við há-þéttleika plasmalosun.

Lítil agnamyndun

Mikill þéttleiki og skortur á innri ör-holum bæla boga og hnúðamyndun meðan á löngum húðun stendur.

 

Umsóknir
 

Hálfleiðari og öreindatækni

 

Útfelling hindrunarlaga, snertilaga og samtengdra frælaga í IC-framleiðslu.

Flatskjáir (OLED/LCD)

 

Myndun leiðandi og pixla-knúinna-filma smára (TFT) laga.

Optísk húðun

 

Anti-endurskinshúð (AR) húðun, síulög og byggingarlistarleg Low-E glerframleiðsla.

Notist-þolin og skrautleg hörð húðun

TiN, TiCN og TiAlN útfelling á skurðarverkfærum, bílaíhlutum og hreinlætisbúnaði.

 

 

Sérsnið og framleiðsla

Framleiðsluleið:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Tenging.


Sérsniðin hæfileiki:Sérsniðin rúmfræði (rétthyrnd, hringlaga, skipt, snúanleg), sérsniðin hönnun á bakplötu kælirásum og sérstakar kröfur um kornstefnu.


Í-Húsvinnsla:CNC fræsun og snúningur ná víddarvikmörkum innan +/- 0.1 mm og yfirborðsgrófleiki niður í Ra 0,4 um.

Grade 2 Titanium Plate

 

Gæðaeftirlit og vottanir

Greiningarpróf

Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) fyrir snefilefnagreiningu; LECO gasgreiningartæki fyrir magngreiningu súrefnis, köfnunarefnis og vetnis.

Byggingarskoðun

Ultrasonic prófun (UT) framkvæmd á 100% af tengdum skotmörkum til að sannreyna tengingarheilleika og greina holrúm viðmóta.

Rekjanleiki

Hvert mark er sent með greiningarvottorð (Certificate of Analysis, COA) sem sýnir nákvæma hreinleika lotunnar, sundurliðun óhreininda á ppm og niðurstöður úr þéttleikaprófunum.

 

Pökkun og afhending

 

 

Umbúðir

Tómarúm-innsiglað í and--töfrandi pólýetýlenpokum, pakkað með höggdeyfandi-froðu í styrktum útflutnings-viðarkistum til að koma í veg fyrir flutningsoxun og vélrænan skaða.

 

Leiðslutími

2 til 3 vikur fyrir staðlaðar flatar stærðir; 4 til 6 vikur fyrir sérsniðnar snúnings- eða dreifingar-tengdar stillingar.

 

Sendingarskilmálar

FOB, CIF eða DDP með flug- eða sjófrakt.

 

 

 

Algengar spurningar

 

 

Sp.: Hvaða hreinleikastig er krafist fyrir notkun á hálfleiðurum á móti skrauthúðun?

A: Hálfleiðaraforrit krefjast yfirleitt 99,995% (4N5) til 99,999% (5N) hreinleika til að koma í veg fyrir að snefilmálmmengun breyti rafeiginleikum. Skreytingar- og slitþolnar -harðhúðunaraðferðir nota venjulega 99,9% (3N) til 99,95% hreinleika, sem jafnar kostnað og virkni.

Sp.: Hvernig kemurðu í veg fyrir að skotmark sprungi við há-aflsputting?

A: Marksprungur eru mildaðar með því að viðhalda fínni, einsleitri kornastærð (< 100 um), high theoretical density (>99,5%), og notar öfluga dreifingu-tengd eða indíum-tengd OFHC kopar bakplötur sem dreifa varmaálagi á skilvirkan hátt.

Sp.: Hvert er hámarks ógildingarhlutfall skuldabréfa sem þú tryggir?

A: Við ábyrgjumst að tómahlutfall milli andlitstenginga sé minna en 1% af heildar flatarmáli tengt yfirborðs, staðfest með ultrasonic C-skönnun fyrir sendingu, sem kemur í veg fyrir staðbundna ofhitnun og markaflögun.

Sp.: Getur þú framleitt sundurliðuð skotmörk fyrir stór húðunarhólf?

A: Já. Við framleiðum flatar og snúanlegar skotmörk á stórum -svæða í einingum, samtengdum hlutum sem hannaðir eru fyrir óaðfinnanlega uppsetningu í byggingargleri og skjáhúðunarlínum.

Sp.: Hvaða upplýsingar eru nauðsynlegar til að biðja um sérsniðna miðatilboð?

A: Vinsamlegast gefðu upp PVD kerfislíkanið þitt ef það er þekkt, markrúmfræði (plan eða snúanleg), nákvæm mál (lengd, breidd, þykkt eða ytri þvermál), hreinleikastig efnis, kröfur um bakplötuefni og áætlað árlegt neyslurúmmál.

Sp.: Hvernig eru skotmörkin hreinsuð og pakkað fyrir sendingu?

Svar: Markmiðin eru hreinsuð með ofurhljóðshreinsun í ofur-hreinum leysum til að fjarlægja vinnsluleifar, eru lofttæmdu-innsiglaðar í hreinherbergi með þurrkefnum og þeim er pakkað í köfnunarefnis-hreinsað eða þungt-viðarílát.

 

modular-1
Óska eftir tilboði

Til að fá tæknilega tillögu og tilboð fyrir tiltekið útfellingarkerfi þitt, vinsamlegast tilgreindu PVD kerfislíkanið þitt, nauðsynlegan hreinleika, mál og áætlað magn. Verkfræðiteymi okkar svarar innan 24 vinnutíma með efnisframboð og afhendingaráætlanir.

Við erum fagmenn títan sputtering miðar að framleiðendum og birgjum í Kína, sem sérhæfa sig í að veita hágæða sérsniðna þjónustu. Vinsamlegast ekki hika við að kaupa afsláttarmiða fyrir títan sputtering á lager hér og fá ókeypis sýnishorn frá verksmiðjunni okkar. Fyrir verðráðgjöf, hafðu samband við okkur.