Vöruyfirlit
Planar títan sputtering markmið eru framleidd úr lofttæmi framkalla bræddu og varmavélafræðilega unnum títan hleifum. Þessi flötu skotmörk, sem eru hönnuð fyrir DC og RF segulómasputtering, veita stöðuga, samræmda þunnu-filmuútfellingu yfir hálfleiðaraframleiðslulínur, sjónhúðunarhólf og iðnaðar PVD kerfi. Stýrð örbygging tryggir stöðugan veðrunarhraða markmiðs, fyrirsjáanlegan sputtering afrakstur og lágmarks agnamyndun meðan á langvarandi-afli stendur.
Tæknilýsing
|
Parameter |
Forskriftarsvið |
|
Efnishreinleiki |
99,9% (3N) til 99,999% (5N) |
|
Staðlaðar stærðir |
Rétthyrnd: Allt að 3000 mm lengd; Hringlaga: Þvermál 50 mm til 450 mm |
|
Þykktarsvið |
3 mm til 25 mm (sérsniðið) |
|
Örbygging |
Fínkornastærð < 100 μm með einsleitri tilviljunarkenndri stefnu |
|
Þéttleiki |
$\ge$ 4.50 g/cm³ (>99,5% fræðilegur þéttleiki) |
|
Bonding Options |
Ótengd (einhverfa) eða Indíum / Elastómer / Cu- málmblöndu tengt við OFHC kopar eða ál bakplötur |
Helstu eiginleikar
Stýrð kornstærð:Fínar, jafnásaðar korndreifingar bæla niður staðbundna gryfju og draga úr myndun markhnúða í langvarandi útfellingarlotum.
Lítil millivefsóhreinindi:Tómarúmbráðnun viðheldur ströngum ppm-mörkum á súrefni, köfnunarefni, vetni og kolefni til að koma í veg fyrir mengun filmunnar.
High Density Matrix:Alveg þétt uppbygging útilokar innri örholur og kemur í veg fyrir ör-bogamyndun meðan á háhraða-viðbragðsverðum sputtering ferlum stendur.
Heiðarleiki hitaviðmóts:Bjartsýni indíum- eða dreifingartengi viðheldur varmaleiðni yfir 120 W/mK, sem kemur í veg fyrir varmaspennuaflögun við mikla aflþéttleikaálag.
Umsóknir
Hálfleiðari og öreindatækni:Hindrunarlög, snertilög og samtengd málmvinnsla í samþættum hringrásarframleiðslu.
Optísk húðun:Anti-endurskins (AR) staflar, rafmagnssíur og gagnsæ leiðandi oxíð (TCO) lög fyrir nákvæmni ljósfræði.
Flatskjáir:Leiðandi rafskaut og biðminni fyrir OLED og LCD framleiðslulínur.
Arkitekta- og bílagler:Sólarstýring og lág-geislun (Low-E) byggingarlistarhúðun.
Slit og skreytingar harðar húðun:Títanítríð (TiN) og títankarbónítríð (TiCN) hagnýtur húðun fyrir skurðarverkfæri, iðnaðarvélbúnað og bílaíhluti.
Sérsnið og framleiðsla
Bræðsla og varmavélræn vinnsla:Vacuum Arc Remelting (VAR) parað við fjöl-ása heitsmíði og kross-veltileiðir til að útrýma stefnubundinni vélrænni anisotropy.
Nákvæm vinnsla:CNC mölun og yfirborðsslípun ná flatneskjuvikmörkum innan +/- 0.1 mm og yfirborðsgrófleiki niður í Ra < 0,4 um.
Sérsniðnar rúmfræði:Framleiðsla meðhöndlar rétthyrnd, hringlaga, skiptan-hluta, þrepa-samskeyti og sérsniðnar útlínur kortlagðar beint á bakskautsteikningar.
Bakplötuverkfræði:Sérsniðin hönnun og framleiðsla á bakplötum úr OFHC kopar eða áli með nákvæmni-jafnaðar kælivatnsrásir og O-hringaþéttingarróp.
Gæðaeftirlit og vottanir
Greiningarstaðfesting:Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) eða ICP-OES vottar magnhreinleika og ummerki um málm-/millivefsóhreinindi.
Málmvinnsluskoðun:Sjónsmásjá og rafeindaafturdreifing (EBSD) staðfesta einsleitni kornastærðar og kristallafræðilega stefnu.
Ó-eyðandi prófun (NDT):Ultrasonic C-skönnunarprófun staðfestir 100% tengingarheilleika og tryggir enga ótengda vasa sem eru stærri en 3 mm í þvermál.
Rekjanleiki og samræmi við reglur:Framleitt undir ISO 9001 vottuðu gæðastjórnunarkerfi. Sérhver framleiðslulota er send með ítarlegt greiningarvottorð (CoA) tengt tilteknu hitanúmeri hleifarinnar, ásamt fullkomlega staðfestum RoHS, REACH og Conflict Minerals Reporting Templates (CMRT).
Pökkun og afhending
Verndandi tómarúmþétting:Sérpakkað í and--töfrandi pólýetýlenpoka og lofttæmi-innsiglað í köfnunarefnis-hreinsuðu umhverfi til að koma í veg fyrir oxun meðan á flutningi stendur.
Áhrifavörn:Festir með há-þéttleika pólýetýlen fjöðrunarfroðuinnleggjum inni í útflutnings-viðargrindum til að koma í veg fyrir að brúnin slípast, beygist eða yfirborðsskemmdir.
Global Logistics:Samræmd alþjóðleg flug- og sjóflutningaflutninga með fullkomnum tollafgreiðsluskjölum.
Algengar spurningar
Sp.: Hver er venjulegur leiðtími fyrir sérsniðin slétt títanmarkmið?
A: Staðlaðar vörulistastærðir eru sendar innan 2 til 3 vikna. Sérsniðnar stillingar sem krefjast sérstakrar veltingar, flókinna vinnslu eða sérhæfðrar bakplötuframleiðslu þurfa venjulega 4 til 6 vikur.
Sp.: Hvernig er tengingarheilleiki prófaður og staðfestur fyrir sendingu?
Svar: Sérhver tengt skotmark gangast undir 100% ultrasonic C-skönnun án-eyðandi prófunar. Skoðunarkortið verður að sannreyna að núll óbundið milliflatarsvæði fari yfir ströng innri viðmiðunarmörk, sem tryggir varmastöðugleika við rekstrarálag.
Sp.: Hvaða hreinleikastig ætti að tilgreina fyrir ljós- vs. hálfleiðara forrit?
A: Optískar þunnt-filmuhúðunarlínur virka almennt á skilvirkan hátt með 99,9% (3N) til 99,95% (3,5N) hreinleika. Háþróuð hálfleiðara- og örrafræn ferli krefjast 99,995% (4N5) eða 99,999% (5N) hreinleika til að koma í veg fyrir þungmálma- og alkalímengun í viðkvæmum búnaðarlögum.
Sp.: Eru fullkomin skjöl um reglur og umhverfisreglur afhentar fyrir fyrirtækjaúttektir?
A: Já. Alhliða skjöl, þar á meðal RoHS yfirlýsingar, REACH SVHC yfirlýsingar og CMRT árekstra-steinefnaskýrslur, eru staðlaðar og afhentar ef óskað er eftir eða með sendingarpappírum.
Sp.: Hvaða aðalþættir valda ör-bogamyndun við sputtering og hvernig kemur framleiðsla í veg fyrir það?
Svar: Ör-bogamyndun er venjulega af völdum staðbundinna þéttleikafrávika, gas ör-svitahola eða utanaðkomandi yfirborðsinnihalds. Stýrð lofttæmisbráðnun, fjöl-þrepa varmavélræn mótun og strangar úthljóðsprófanir koma í veg fyrir innri galla til að tryggja stöðuga,-bogalausa plasmamyndun.
Sp.: Hvaða stafræna skráarsnið eru samþykkt fyrir sérsniðnar verkfræðiteikningar?
A: CAD teikningar á STEP, IGES, DXF eða PDF sniðum sem lýsa mikilvægum víddum, vikmörkum, rafmagnssnertipunktum og stillingum kælirása eru samþykktar til tafarlausrar verkfræðiskoðunar.
Óska eftir tilboði
Sendu tækniforskriftir þínar eða verkfræðilegar teikningar til að fá formlega viðskiptatilboð, vottaðar efnisprófunarskýrslur (MTR), sannprófun á samræmi og staðfestan afgreiðslutíma.
Nauðsynlegar RFQ færibreytur:Hreinleikastig efnis (td 99,995%), nákvæmar stærðir (lengd x breidd x þykkt), staða bakplötu (ótengd samanborið við tengt efnisgerð) og áætlað árlegt magn eða magn innkaupa í lotu.
Bein verkfræði- og sölutengiliður:[Settu inn hlekk á tölvupósti / beiðni um sendingareyðublað]
maq per Qat: planar títan sputtering targets, Kína planar titan sputtering targets framleiðendur, birgjar, verksmiðju