Vöruyfirlit
Round Títan sputtering Targets þjóna sem há-hreinleika bakskautsuppsprettuefni fyrir segulstrauðsputting og líkamlega gufuútfellingu (PVD) kerfi. Þessi hringlaga skotmörk eru framleidd úr lofttæmi-bræddum títanhleifum og gefa samræmda örbyggingu til að tryggja stöðuga plasmahleðslu, fyrirsjáanlegan vaxtarhraða þunnrar-filmu og stöðuga rafleiðni yfir hálfleiðara, ljósleiðara og skreytingarhúðunarlínur.
Tæknilýsing
|
Hreinleiki |
1. bekkur (99,5%), 2. bekkur (99,7%), 99,9% (3N), 99,95% (3N5), 99,99% (4N), 99,995% (4N5) |
|
Standard þvermál |
2 tommur til 16 tommur (sérsniðnar stærðir fáanlegar ef óskað er) |
|
Þykktarsvið |
3 mm til 20 mm |
|
Örbygging |
Meðalkornstærð < 100 um með jafnáxladreifingu |
|
Þéttleiki |
> 4.51 g/cm3 (>99,5% fræðilegur þéttleiki) |
|
Efni til bakplötu |
Kopar (OFHC), súrefnis-laus kopar eða ál (indíum- eða teygjutengi í boði) |
|
Yfirborðsfrágangur |
Vélað, lappað eða slípað (Ra<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed |
Helstu eiginleikar
Fín og samræmd kornastærð:Stýrð hita-vélræn vinnsla kemur í veg fyrir staðbundna ofhitnun, dregur úr myndun agna og galla í holum við mikla-aflútfellingu.
Lítið gasóhreinindi:Stýrt millivefsmagn súrefnis, köfnunarefnis, kolefnis og vetnis lágmarkar ör-boga inni í lofttæmishólfinu.
Hár málmvinnslustyrkur:Ultrasonic skönnun staðfestir > 95% tengingarþekju milli títanmarkflísar og koparbakplötu, sem tryggir hámarks hitauppstreymi og rafflutning.
Nákvæm víddarvikmörk:CNC vinnsla heldur ytri þvermál og þykktarvikmörkum innan +/- 0.1 mm fyrir nákvæma kerfisfestingu.
Umsóknir
Hálfleiðari og öreindatækni:Hlið rafskautsútfelling, dreifingarhindranir og frælög fyrir samþættar rafrásir.
Optísk húðun:Anti-endurskinshúð (AR) húðun, ljóssíur og nákvæmnislinsuaukning.
Arkitekta- og bílagler:Lágt-geislunargeta (Lágt-E) húðun og sólarstýringarfilmur fyrir orku-sparnað gler.
Skraut- og slitþolið-PVD:Títanítríð (TiN) eða títankol-nítríð (TiCN) hagnýt lög fyrir vélbúnað, armbandsúr og skurðarverkfæri.
Sérsnið og framleiðsla
Framleiðsla notar lofttæmisbræðslu (VIM), lofttæmiboga endurbræðslu (VAR), fjöl-smíði og nákvæmnisvalsingu. Þessi vinnsluleið brýtur niður steypt mannvirki til að útrýma innri rýrnunarholum.
Sérsniðnar rúmfræði:Stigbrúnir, skábrautir, snittari kæligöt og ó-þvermál sem kortlagt eru á sérstakar bakskautsbyssur (td Angstrom Sciences, AJA International, Lesker).
Sambandsþjónusta:Indíumbinding og elastómerbinding framkvæmd í-húsi til að standast mikla aflþéttleika án varmalosunar.
Gæðaeftirlit og vottanir
Efnagreining:Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS) og Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) sannreyna styrk snefilefna og millivefs frumefna. Hver lota er send með sérstakt greiningarvottorð (CoA).
Ó-eyðandi prófun (NDT):Ultrasonic C-skannaskoðun metur tengingarheilleika milli skotmarks og bakplötu, skimað fyrir innri tómarúmi eða delamination.
Málmfræðipróf:Sjónsmásjá staðfestir kornastærðardreifingu og fasa einsleitni.
Samræmi við staðla:Framleitt samkvæmt ISO 9001:2015 gæðastjórnunarkerfum.
Pökkun og afhending
Aðalumbúðir:Hreinherbergi-lofttæmi-lokaðir tvöfaldir pólýetýlenpokar fylltir með óvirku argongasi.
Auka umbúðir:Upphengd höggdeyfandi-EPE froðumót sem eru hýst í þungum-útflutnings krossviður kössum til að koma í veg fyrir að brúnin rifist eða yfirborðið rispast meðan á flutningi stendur.
Skjöl innifalin:Greiningarvottorð, öryggisblað (MSDS) og víddarskoðunarskýrsla.
Algengar spurningar
Sp.: Hvaða hreinleikastig ætti ég að velja fyrir sjónræn forrit á móti skreytingar PVD?
A: Optísk þunn-filmunotkun krefst almennt 99,99% (4N) eða meiri hreinleika til að koma í veg fyrir snefilefni úr málmi sem valda ljósgleypni eða -dreifingu. Skreytt húðunarlínur sem vinna hagnýt lög eins og TiN nota venjulega 99,9% (3N) hreinleika til að koma jafnvægi á útfellingarstöðugleika og efniskostnaðarhagkvæmni.
Sp.: Hvernig kemurðu í veg fyrir að skotmark sprungi við há-aflstraumsegulsviðssputtering (HiPIMS)?
Sv.: Marksprungur eru mildaðar með ströngu-þverri mótun og kross-valsleiðum sem tryggja fullkomlega endurkristallaða, fínkorna uppbyggingu undir 100 um. Þessi einsleita kristallaða afstaða dreifir varmaálagi jafnt við mikla aflþéttleika.
Sp.: Hver er hámarksaflþéttleiki fyrir bundin skotmörk á móti ótengdum einlitum skotmörkum?
A: Ótengd einlita skotmörk eru venjulega takmörkuð við lægri aflþéttleika vegna hitauppstreymis yfir loftbilið milli skotmarksins og bakskautsbaksins. Tengd skotmörk sem nota Indium eða elastómer tengi geta séð um meiri aflálag (yfir 15 W/cm2) að því tilskildu að skilvirku flæði kælda vatns sé viðhaldið.
Sp.: Getur þú passað við sérsniðnar bakplötuteikningar fyrir arfleifð eða sérstakt sputtering kerfi?
A: Já. Framleiðsla rúmar sérsniðna bakplötuhönnun. Verkfræði endurskoðar STEP, IGES eða 2D PDF teikningar til að passa við sérstakar vatns-rásarstillingar, O-hringa gróp og bolta-mynstur kröfur.
Sp.: Hvaða prófunaraðferðir sannreyna tengingarheilleika lóðaðra skotmarka?
A: Ultrasonic C-skönnun án-eyðandi prófunar skoðar allt tengiviðmótið. Sérhvert staðbundið óbundið svæði eða tómarúm sem er meira en 5% af heildaryfirborði eða eitthvert tóm sem er stærra en 5 mm leiðir til höfnunar.
Sp.: Hver er staðall leiðtími fyrir frumgerð og framleiðslulotupantanir?
A: Staðlaðar lagerstærðir eru sendar innan 3 til 5 virkra daga. Sérsniðnar-vélaðar skotmörk eða tengdar samsetningar þurfa 2 til 3 vikur, allt eftir efnisframboði og flóknu uppsetningu bakplötunnar.
Óska eftir tilboði
Sendu inn markforskriftir (hreinleika, mál, magn, kröfur um bakplötu og bakskautslíkan) til að fá formlega tilboð og efnisblað innan 24 vinnutíma.
maq per Qat: kringlótt títan sputtering markmið, Kína kringlótt títan sputtering markmið framleiðendur, birgja, verksmiðju